對(duì)于薄膜沉積控制儀的檢查與維修不是簡(jiǎn)簡(jiǎn)單單馬馬虎虎就可以完成的，下面來(lái)看下
薄膜沉積控制儀的檢修要求：
(1)操縱臺(tái)上的所有操縱按鈕、主令開關(guān)的手柄、信號(hào)燈及儀表護(hù)罩都應(yīng)保持清潔完好。
(2)檢查接觸器、繼電器等電器的觸頭系統(tǒng)吸合是否良好，有無(wú)噪聲、卡住或遲滯現(xiàn)象；觸頭接觸面有無(wú)燒蝕、毛刺或穴坑；電磁線圈是否過熱；各種彈簧彈力是否適當(dāng)；滅弧裝置是否完好無(wú)損等。
(3)試驗(yàn)位置開關(guān)能否起位置保護(hù)作用。
(4)檢查各電器的操動(dòng)機(jī)構(gòu)是否靈活可靠，有關(guān)整定值是否符合要求。
(5)檢查各線路接頭與端子板的連接是否牢靠，各部件之間的連接導(dǎo)線、電纜或保護(hù)導(dǎo)線的軟管不得被冷卻液、油污等腐蝕，管接頭處不得產(chǎn)生脫落或散頭等現(xiàn)象。
(6)檢查電氣柜及導(dǎo)線通道的散熱情況是否良好。
(7)檢查各類指示信號(hào)裝置和照明裝置是否完好。
以上是關(guān)于薄膜沉積控制儀的維修方式介紹。
